双束(FIB)扫描电镜

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收费标准

机时
按检测项目计费
送样
详见检测项目

设备型号

AMBER

当前状态

管理员

程龙,金雨佳,杨明

放置地点

沙河主楼沙河主楼C座沙河主楼C座104
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名称

双束(FIB)扫描电镜

资产编号

200

型号

AMBER

规格

产地

捷克

厂家

TESCAN

所属品牌

TESCAN

出产日期

购买日期

所属单位

物理学院

使用性质

科研

所属分类

物理学院,显微成像

资产负责人

程龙

联系电话

联系邮箱

放置地点

沙河主楼沙河主楼C座沙河主楼C座104
  • 主要规格&技术指标
  • 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1. 电子束:高亮度肖特基场发射枪
2. 电子束成像分辨率:0.9 nm @ 15 kV
3. Ga离子束:0.5 kV - 30 kV
主要功能及特色
1. Ga聚焦离子束微纳加工,截面加工
2. Pt沉积(电子束、离子束),微纳电路焊接
3. EBSD (C-Nano)
4. TEM lamella加工
5. TEM微柱加工(压缩测试)
6. TKD测量
7. 原位拉伸与加热,最高1200摄氏度(当前限定SEM,EBSD预计2024年底实现)
检测项目
收费标准
【校内送检】:
普通样品观测:450元/小时;
EDS :150元/小时(需预约普通样品观测);
EBSD:200元/样(需预约普通样品观测);
FIB离子束加工:复杂样品2000/样起,普通样品按照 1500/样起
(不够半小时按照半小时收费,超过半小时按照1小时收费,特殊需求超出标准机时另行收费500元/小时)。
【校外送检】:
普通样品观测:500元/小时;
EDS :200元/小时(需预约普通样品观测);
EBSD:300元/样(需预约普通样品观测);
FIB离子束加工:复杂样品3000/样起,普通样品按照 2000/样起
(不够半小时按照半小时收费,超过半小时按照1小时收费,特殊需求超出标准机时另行收费500元/小时)。
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