纳米飞行时间二次离子质谱仪
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2/人使用者
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149/次机时次数
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3523/小时总时长
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85/次送样次数
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16/人收藏者
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收费标准
机时500元/小时起送样详见检测项目 -
设备型号
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当前状态
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管理员
熊小路,杨楠,薛静 010-61715125 61715055 -
放置地点
沙河校区科研四号楼108
- 仪器信息
- 检测项目
- 收费标准
- 附件下载
- 公告
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名称
纳米飞行时间二次离子质谱仪
资产编号
S2501527
型号
*
规格
场发射Bi源，离子束能量范围：15 - 30 keV
产地
厂家
*
所属品牌
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出产日期
购买日期
2025-03-21
所属单位
化学成分分析
使用性质
科研
所属分类
表面分析,化学分析,元素/成分分析,质谱分析,质谱分析,元素/成分分析,显微成像
资产负责人
熊小路
联系电话
010-61715125,61715055
联系邮箱
fxcs@buaa.edu.cn
放置地点
沙河校区科研四号楼108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1．低质量时质量分辨率：m/z = 29 (SiH+) 的m/△M ≥ 12,000；
2．高质量时质量分辨率：m/z ＞200的m/△m ≥ 17,000；
3．绝缘材料质量分辨率：PET标准样品m/z = 104的m/△m ≥ 12,000；
4．质量精度：当m＜100u时，＜1 mamu；当m＞100u时，＜10 ppm；
5．空间分辨率：≤ 50nm；
6．灵敏度：m/z = 27时 ≥ 5.5 × 10E8 Al+ cts / nanocoulomb；
7．场发射Bi源，离子束能量范围：15 - 30 keV；具备FIB能力，可表征材料2D和3D分布；
8．具备Ar/O气源、GCIB团簇源和Cs离子源，可进行深度剖析；
9．串联质谱 MS/MS可同时进行传统TOF-SIMS成像和采谱分析（MS1)以及对特定离子进行离子成像和采谱分析（MS2)，从而对所分析区域提供最大的分析信息量；
10．样品台可变温，温度范围-120℃ 到 +600℃；
2．高质量时质量分辨率：m/z ＞200的m/△m ≥ 17,000；
3．绝缘材料质量分辨率：PET标准样品m/z = 104的m/△m ≥ 12,000；
4．质量精度：当m＜100u时，＜1 mamu；当m＞100u时，＜10 ppm；
5．空间分辨率：≤ 50nm；
6．灵敏度：m/z = 27时 ≥ 5.5 × 10E8 Al+ cts / nanocoulomb；
7．场发射Bi源，离子束能量范围：15 - 30 keV；具备FIB能力，可表征材料2D和3D分布；
8．具备Ar/O气源、GCIB团簇源和Cs离子源，可进行深度剖析；
9．串联质谱 MS/MS可同时进行传统TOF-SIMS成像和采谱分析（MS1)以及对特定离子进行离子成像和采谱分析（MS2)，从而对所分析区域提供最大的分析信息量；
10．样品台可变温，温度范围-120℃ 到 +600℃；
主要功能及特色
纳米飞行时间二次离子质谱仪，用以表征材料表面的元素成分（H~U）、同位素、分子结构、分子键接等信息。TOF-SIMS可以分析所有的导体，半导体，绝缘材料; TOF-SIMS的分析深度2um左右，横向空间分辨率可达50nm; 能鉴别高质量数的有机大分子；探测灵敏度很高，可以达到ppb量级；可进行2D和3D成像来表征成分的分布；对于材料表面成分及分布，表面多层结构/镀膜成分，表面异物残留(污染物、颗粒物、腐蚀物等)，表面痕量掺杂，表面改性，表面缺陷（划痕、凸起等）等有很好的表征能力。
检测项目
收费标准
1.自主上机收费
①表面谱： 500元/小时；②二维面扫： 800元/小时；③深度剖析三维成像： 1000元/小时；变温测试加收 200元/小时。
2.协同测试收费
①表面谱： 600元/小时；②二维面扫： 1000元/小时；③三维剖析： 1200元/小时；变温测试加收 200元/小时。
3.校内送检收费
①表面谱： 400元/样起；②二维面扫： 1000元/样起；③三维剖析： 1200元/样起；注： 单个样品超过1小时的， 超出部分按表面谱： 400元/小时； 二维面扫： 1000元/小时； 三维剖析： 1200元/小时计， 复杂样品价格具体商议。变温测试加收 200元/小时，谱图数据处理 300元/小时。
4.校外送检收费
①表面谱： 800元/样起；②二维面扫： 2000元/样起；③深度剖析三维成像： 2400元/样起；注： 单个样品超过1小时的， 超出部分按表面谱： 800元
/小时； 二维面扫： 2000元/小时；深度剖析三维成像： 2400元/小时计， 复杂样品价格具体商议。变温测试加收 200元/小时，谱图数据处理 300元/小时。
①表面谱： 500元/小时；②二维面扫： 800元/小时；③深度剖析三维成像： 1000元/小时；变温测试加收 200元/小时。
2.协同测试收费
①表面谱： 600元/小时；②二维面扫： 1000元/小时；③三维剖析： 1200元/小时；变温测试加收 200元/小时。
3.校内送检收费
①表面谱： 400元/样起；②二维面扫： 1000元/样起；③三维剖析： 1200元/样起；注： 单个样品超过1小时的， 超出部分按表面谱： 400元/小时； 二维面扫： 1000元/小时； 三维剖析： 1200元/小时计， 复杂样品价格具体商议。变温测试加收 200元/小时，谱图数据处理 300元/小时。
4.校外送检收费
①表面谱： 800元/样起；②二维面扫： 2000元/样起；③深度剖析三维成像： 2400元/样起；注： 单个样品超过1小时的， 超出部分按表面谱： 800元
/小时； 二维面扫： 2000元/小时；深度剖析三维成像： 2400元/小时计， 复杂样品价格具体商议。变温测试加收 200元/小时，谱图数据处理 300元/小时。
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