硬X射线近常压XPS
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收费标准
机时4200元/天起 -
设备型号
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当前状态
其它 -
管理员
熊小路,金雨佳,杨明 010-61715050 -
放置地点
科研四号楼B317A
- 仪器信息
- 检测项目
- 收费标准
- 附件下载
- 公告
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名称
硬X射线近常压XPS
资产编号
64
型号
规格
产地
厂家
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
分析测试中心集约服务平台
使用性质
科研
所属分类
原子结构分析,物理性能,元素/成分分析,物性测试(电,磁,表面)
资产负责人
熊小路
联系电话
010-61715050
联系邮箱
fxcs@buaa.edu.cn
放置地点
科研四号楼B317A
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
单色化Al靶，能量1486.6 eV；单色化高能Cr靶，能量5400 eV
微聚焦最小光斑200 μm，光阑选择最小光斑可到20 μm
一维延迟线探测器（1D-DLD）：线性响应为9 Mcps
电子能量分析器：能量分辨率20 meV，探测能量范围达到6 keV
工作时真空范围：满足 10-10–10-6 mbar
全自动五轴样品台：X方向50 mm，Y方向30 mm，Z方向18 mm，移动的分辨率为1 μm，可倾斜范围为-90°到+90°度，分辨率优于1°
配备电子束加热，在10 mbar条件下，样品温度最高可达600℃；配有液氮冷却，样品最低温度可达150 K
光学相机：用于样品位置观测，视场可选范围10–100 mm，分辨率为50 μm
配备荷电中和枪和低能离子源
电化学反应池：配备三电极和两个电解液管道；气压范围：2-1000 mbar
微聚焦最小光斑200 μm，光阑选择最小光斑可到20 μm
一维延迟线探测器（1D-DLD）：线性响应为9 Mcps
电子能量分析器：能量分辨率20 meV，探测能量范围达到6 keV
工作时真空范围：满足 10-10–10-6 mbar
全自动五轴样品台：X方向50 mm，Y方向30 mm，Z方向18 mm，移动的分辨率为1 μm，可倾斜范围为-90°到+90°度，分辨率优于1°
配备电子束加热，在10 mbar条件下，样品温度最高可达600℃；配有液氮冷却，样品最低温度可达150 K
光学相机：用于样品位置观测，视场可选范围10–100 mm，分辨率为50 μm
配备荷电中和枪和低能离子源
电化学反应池：配备三电极和两个电解液管道；气压范围：2-1000 mbar
主要功能及特色
在同一光源上两种靶材可自由切换：单色化阳极靶微聚焦X射线光源：单色化Al靶，能量1486.6 eV；单色化高能Cr靶，能量5400 eV；靶光通量高于1.0×1010 光子/秒
带有微聚焦功能，微聚焦最小光斑200 μm，光阑选择最小光斑可到20 μm
配备3路进气管路系统，质量流量计，具备自动压力控制功能，压力范围：满足1-30 mbar
配备电子束加热，在10 mbar条件下，样品温度最高可达600℃；配有液氮冷却，样品最低温度可达150 K
荷电中和枪：能量范围：1 eV-500 eV，束流可达1 mA
低能离子源：能量范围200 eV-5 keV连续可调，扫描面积：10×10 mm；光斑尺寸：≤125 μm，最大束流≥ 1 μA at 200 eV，7 μA at 5 keV
光学相机：用于样品位置观测，视场可选范围10–100 mm，分辨率为50 μm
电化学反应池：配备三电极和两个电解液管道；气压范围：2-1000 mbar；电化学反应池放置在与XPS系统连接的手套箱里，电解液可动态流动，可将反应后的电极传入到XPS分析腔中进行分析测试。
带有微聚焦功能，微聚焦最小光斑200 μm，光阑选择最小光斑可到20 μm
配备3路进气管路系统，质量流量计，具备自动压力控制功能，压力范围：满足1-30 mbar
配备电子束加热，在10 mbar条件下，样品温度最高可达600℃；配有液氮冷却，样品最低温度可达150 K
荷电中和枪：能量范围：1 eV-500 eV，束流可达1 mA
低能离子源：能量范围200 eV-5 keV连续可调，扫描面积：10×10 mm；光斑尺寸：≤125 μm，最大束流≥ 1 μA at 200 eV，7 μA at 5 keV
光学相机：用于样品位置观测，视场可选范围10–100 mm，分辨率为50 μm
电化学反应池：配备三电极和两个电解液管道；气压范围：2-1000 mbar；电化学反应池放置在与XPS系统连接的手套箱里，电解液可动态流动，可将反应后的电极传入到XPS分析腔中进行分析测试。
检测项目
收费标准
1. 自主上机收费
①标准测试：4200元/天。
2. 协同测试收费
①标准测试：5000元/天。
3. 校内送检收费
①标准测试：6000元/天。
4. 校外送检收费
①标准测试：10000元/天。
实验可按天预约，需提前一周与实验人员联系确认实验方案。
①标准测试：4200元/天。
2. 协同测试收费
①标准测试：5000元/天。
3. 校内送检收费
①标准测试：6000元/天。
4. 校外送检收费
①标准测试：10000元/天。
实验可按天预约，需提前一周与实验人员联系确认实验方案。
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