硬X射线近常压XPS

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收费标准

机时
4200元/天起

设备型号

当前状态

其它

管理员

金雨佳,杨明,熊小路 010-61715050

放置地点

科研四号楼B317A
  • 仪器信息
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名称

硬X射线近常压XPS

资产编号

64

型号

规格

产地

厂家

所属品牌

出产日期

购买日期

所属单位

分析测试中心集约服务平台

使用性质

科研

所属分类

物理性能,原子结构分析,元素/成分分析,物性测试(电,磁,表面)

资产负责人

金雨佳

联系电话

010-61715050

联系邮箱

fxcs@buaa.edu.cn

放置地点

科研四号楼B317A
  • 主要规格&技术指标
  • 主要功能及特色
主要规格&技术指标
单色化Al靶,能量1486.6 eV;单色化高能Cr靶,能量5400 eV
微聚焦最小光斑200 μm,光阑选择最小光斑可到20 μm
一维延迟线探测器(1D-DLD):线性响应为9 Mcps
电子能量分析器:能量分辨率20 meV,探测能量范围达到6 keV
工作时真空范围:满足 10-10–10-6 mbar
全自动五轴样品台:X方向50 mm,Y方向30 mm,Z方向18 mm,移动的分辨率为1 μm,可倾斜范围为-90°到+90°度,分辨率优于1°
配备电子束加热,在10 mbar条件下,样品温度最高可达600℃;配有液氮冷却,样品最低温度可达150 K
光学相机:用于样品位置观测,视场可选范围10–100 mm,分辨率为50 μm
配备荷电中和枪和低能离子源
电化学反应池:配备三电极和两个电解液管道;气压范围:2-1000 mbar
主要功能及特色
在同一光源上两种靶材可自由切换:单色化阳极靶微聚焦X射线光源:单色化Al靶,能量1486.6 eV;单色化高能Cr靶,能量5400 eV;靶光通量高于1.0×1010 光子/秒
带有微聚焦功能,微聚焦最小光斑200 μm,光阑选择最小光斑可到20 μm
配备3路进气管路系统,质量流量计,具备自动压力控制功能,压力范围:满足1-30 mbar
配备电子束加热,在10 mbar条件下,样品温度最高可达600℃;配有液氮冷却,样品最低温度可达150 K
荷电中和枪:能量范围:1 eV-500 eV,束流可达1 mA
低能离子源:能量范围200 eV-5 keV连续可调,扫描面积:10×10 mm;光斑尺寸:≤125 μm,最大束流≥ 1 μA at 200 eV,7 μA at 5 keV
光学相机:用于样品位置观测,视场可选范围10–100 mm,分辨率为50 μm
电化学反应池:配备三电极和两个电解液管道;气压范围:2-1000 mbar;电化学反应池放置在与XPS系统连接的手套箱里,电解液可动态流动,可将反应后的电极传入到XPS分析腔中进行分析测试。
检测项目
收费标准
1. 自主上机收费
①标准测试:4200元/天。

2. 协同测试收费
①标准测试:5000元/天。

3. 校内送检收费
①标准测试:6000元/天。

4. 校外送检收费
①标准测试:10000元/天。

实验可按天预约,需提前一周与实验人员联系确认实验方案。
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